钙钛矿镀膜设备-重庆钙钛矿镀膜设备-沈阳鹏程(诚信商家)

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OLED有机无机联合蒸发系统介绍

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OLED有机无机联合蒸发系统

设备用途 ：

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域

设备组成：

该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。

技术要求：

1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为600×450×450mm，不锈钢材料，成都钙钛矿镀膜设备，方形前后开门结构，内带有防污板。

2、抽气系统：采用分子泵 机械泵抽气系统；

3、有机源蒸发源4个，容积5ml，2台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，苏州钙钛矿镀膜设备，功率0.5Kw；

3、挡板：蒸发源挡板采用自动磁力控制方式，控制其开启；

4、样品架系统：可放置大小为Φ120mm的样品，旋转速度为：0～30转/分；

5、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。

6、无机蒸发源2套、容积5ml，2台蒸发电源，加热电流300A，功率3.2Kw；

7、石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

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电阻热蒸发镀膜——“蒸发技术”介绍

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蒸发技术分为间歇蒸发与连续蒸发、直接电阻加热蒸发和间接电阻加热蒸发，连续生产与制造厚膜时采用连续蒸发加热。一个入射的蒸气原子在表面的滞留时间中，原子不断地扩散形成不均匀的成核作用，随着蒸气原子不断地冲击表面，各个核都在增长，相邻各核开始接触进入聚结阶段，钙钛矿镀膜设备，直到形成连续膜。也可把上述过程划分为小岛阶段、网络阶段、孔阶段及连续膜阶段。

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钙钛矿镀膜机的特点有哪些？

1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。

2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品，烘烤加热温度为≤180℃。

3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。

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