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单室有机无机热蒸发镀膜机公司值得信赖

发布时间:2020-10-29 05:05:15        







有机热蒸发镀膜机介绍

技术指标:

1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa

2. 真空腔内配有集约样品台一套,配有大挡板和16套小挡板,手动控制,开关方便快捷,每个小挡板挡两块30*30mm样片

3. 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温精度±1℃,可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能

4. 金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源,通过铜电极连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交叉污染

5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源,有机源温度为室温-500度,可以根据材料及用户需求自行调节

6. 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板一次,可同时装载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板,并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个***,使机械手推拉小挡板,样品与蒸发源之间的间距为200-300mm

以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助!



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