ZF450多源蒸发镀膜机生产厂家价格合理

ZF300热蒸发镀膜机

ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统，机架电控一体化设计，整体布局紧凑合理，充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。2um厚时就完全没有孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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多源有机无机蒸发?系统ZF450多源蒸发镀膜机生产厂家

多源有机无机蒸发系统

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主要用途：

用于纳米级单层及多层金属膜、 半导体膜等新材料的制备。广泛应用 于大专院校的薄膜材料科研。

系统组成:

由真空室、蒸发源、样品台、 真空测量、膜厚测试、电控系统组成。

技术指标：

极限真空度5.0×10-5Pa，系统漏率：1×10-7PaL/S； ***真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm

样品台：尺寸为4英寸厚度3mm的平面样品；

电极：数量：4支水冷结构；直径Φ20㎜

样品基片:，基片在镀膜位置实现自转。基片的温度从室温至600℃

4套挡板系统：基片挡板与源挡板；靶挡板共有3套， 样品挡板（１套）

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。

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